根據(jù)光柵所處的環(huán)境不同,可分為真空型和非真空型直讀光譜儀,其中非真空型直讀光譜儀又可分為空氣型直讀光譜儀(無法測定真空紫外波段的C、P、S、As等元素含量)和充惰性氣體型直讀光譜儀(可以測定真空紫外元素);
根據(jù)儀器的結(jié)構(gòu)不同,又可分為多道直讀光譜儀和全譜直讀光譜儀,其中前者多采用光電倍增管作為檢測器,后者多采用陣列檢測器(如CCD)。
隨著CCD技術(shù)的不斷發(fā)展,直讀光譜儀開始朝小型化、全譜型方向發(fā)展。小型化儀器功耗小,占用空間小且易于維護;全譜直讀光譜儀能夠獲得全波段范圍內(nèi)的光譜,滿足多基體分析要求,譜線選擇靈活,可以有效扣除光譜干擾,分析更準(zhǔn)確,而多道直讀光譜儀只能檢測有限數(shù)量的光譜,很難做到這一點。